潔凈室及凈化設備專用過濾器
潔凈室及凈化設備專用過濾器
21世紀,什么最重要,健康。微電子工業工序復雜性的增加和產品制程線寬的縮小,氣態分子污染物(AMC)對產品的影響成為潔凈室環境控制中重點關注的問題.為清除空氣中的AMC,過濾器廠家推出了化學過濾器產品。我們介紹了AMC的分類和監測方法,化學過濾器原理和結構,以及在潔凈空調中的應用。
(一)、過濾器的基本知識和過濾器的選擇
1. 過濾器的分類:按過濾器的性能(效率、阻力、容塵量)進行分類,根據我國有關規范可將過濾器劃分為粗效、中效、高效、亞高效、高效和超高效六大類。2. 各類過濾器效率的測試方法對于空氣過濾器的效率而言,相同的過濾器其效率的測試方法不同它們的效率的值也不相同,因此使用過濾器時不僅僅要了解其過濾效率,而且還要知道它們效率的測試方法。
>> 一般通風用粗效、中效、高中效過濾器效率的測試方法
1、計重法:有人工塵計重法和大氣塵計重法,此方法源于美國,國際流行,多用于粗效過濾器的效率測試。
2、比色法:源于美國,國際通行,用于中效過濾器的效率測試。
3、 人工塵計數法:歐洲通行,將取代比色法,用于中效測試。
4、 大氣塵計數法:我國的標準。
>> 高效過濾器測試方法
1、 鈉焰法:中國標準。
2、 DOP 法:源于美國,國際通行。
3、 油霧法:俄國標準,在德國和我國也通行。
4MPPS 法:歐洲標準將取代上述各種方法(最低透過率粒徑法)。
3. 各類空氣過濾器的功能和作用
各種過濾器都具有一定的功能,都不是萬能的。它的功能就決定了它的作用和使用范圍。對其選用正確,使用合理,它們就能充分發揮功能,起到應起的作用;如果選用不當,使用不合理,不僅不能發揮其作用,有時還會產生相反的后果。它們的功能和作用如下:
1、 粗效過濾器:其功能是去除≥5μm 的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為預過濾器。其作用是保護中效.高效過濾器和空調箱內的其他配件以延長它們的使用壽命。
2、 中效過濾器:其功能是去除≥1.0μm 的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為中間過濾器。其作用是減少高效過濾器的負荷,延長高效和空調箱內配件的使用壽命。
3、高中效過濾器:其功能是去除≥1.0μm 的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為中間過濾器,在一般通風系統中可作為終端過濾器。
4、 亞高效過濾器:其功能是去除≥0.5μm 的塵埃粒子,在空調凈化系統中作中間過濾器,在低級凈化系統中可做終端過濾器使用。
5、 高效過濾器:是空調凈化系統中的終端過濾器,它的功能是去除≥0.3μm 的塵埃粒子,達到凈化目的。是潔凈室必備的凈化設備。
6、超高效過濾器:其功能是去除≥0.1μm 的塵埃粒子,是建造高級別潔凈室(0.1μm 潔凈室)的必備凈化設備,是該潔凈室的終端凈化設備。
(二)、空氣處理機組的選擇
空氣處理機組包括空調器(AHU)、新風機組( MAU)和循環機組(RAU),都是空調凈化系統常用的空氣熱濕交換和空氣凈化處理設備。
1.工業潔凈室用空調機組
工業潔凈廠房的空氣處理機組是服務于凈化空調系統的,因此空氣處理機組也必須滿足凈化空調所需的特點。
>> 工業潔凈室的溫、濕度和潔凈度要求嚴格,一般情況室內熱負荷很大、空氣處理的焓差很
大、冷卻后的空氣的露點溫度很低,因此空氣處理機組的保溫性能要好(保溫材料為聚苯乙烯或聚氨脂發泡時保溫層厚度 ≥40mm),防止表面結露,冷耗過大;同時還應避免冷橋現象的產生。
>> 因凈化空調系統總阻力較大,故要求空調機組的風機壓頭很高(≈1500Pa),因此隨之要求空調機組圍護板壁的強度和剛度要好,不要產生負壓段凹進去,正壓段凸出來的變形。
>> 為了減少冷損失和漏風,則要求空調機組的密封性能好,特別是段與段的聯接處和門開啟處的密封。按標準要求空調機組的漏風率≤1%。
>> 為了保證潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度,并且盡量節省能量,要求空調機組有較好的自動控制,如風機的變頻等。又因為空氣的冷、熱、濕處理的功能較多,故空調機組體形較大、長度較長。
2.生物潔凈室用空調機組
生物潔凈室是以微生物(細菌、病毒等)為主要研究對象的,微生物與塵埃粒子不同,它是活的、不斷生長繁殖的粒子,因此服務于生物潔凈室的空氣處理機組應具備如下特點:
>> 為了方便滅菌、消毒、空調機組的內表面以及內部的零配件應耐消毒藥品的腐蝕,表面要光潔。
>> 因為潮濕是微生物生長的最佳條件。因此,空調機組內部不能集水集塵,結構要方便排水;表冷器凝結水應設有自動防倒吸功能,并順利排出凝結水;更不能采用淋水段。
>> 空調機組的加濕只能采用干蒸汽加濕器(電極式或電熱式蒸汽加濕器),而不能使用濕膜、超聲波和高壓噴霧等有水的加濕器。
>> 為了防止空氣帶水,空調器表冷器的斷面風速 V < 2.0m/s。
>> 空調機組的密封要可靠,其漏風率≤1%。
>> 空調機組的強度和剛度要好,有一定的承壓能力。
>> 各級(粗效、中效、亞高效)過濾器的過濾效率要高,而且最好采用一次性的拋棄型過濾器。
3、表冷器、加熱器、加濕器的選擇
① 表冷器是空調機組降溫去濕的關鍵設備,一般表冷器由銅管和鋁翅片構成。表冷器的換熱面積(排數)要經計算求得,在設計中,設計人員要把空氣經表冷器處理前后的參數(溫度、相對濕度或焓)以及冷凍水的供回水溫度提供給供貨商,由供貨商計算和配置表冷器。表冷器后面要設擋水板,表冷器下部設滴水盤,凝結水排水要通暢,排水管上要合理地設置水封。水封的高度要與空調器內的壓力相匹配。
② 加熱器是空調機組中的加熱設備。在空調機組中有一次加熱(預熱)和二次加熱(再熱)兩組。加熱的熱媒有蒸汽、熱水和電。
>> 一次加熱(預熱)器設置在新風進入空調機組處,其目的是為了防凍和防混合結霜、結霧 。
因此,一次加熱器一般用在北方(長江以北)較冷的地區。長江以南不會結凍的地區可不設一次加熱器。一次加熱后的新風溫度一般為+5℃。用加熱器后的溫度探頭來控加熱量。一次加熱的熱媒最好是蒸汽和電,如果用熱水做熱媒要考慮加熱器本身的防凍問題。
>> 二次加熱(再熱)器設在表冷器之后,設置目的是為了調節潔凈廠房內的溫、濕度以達
到設計參數。因為,二次加熱量越小就越節省空調的運行費用,故在設計時要選擇二次加熱量較小的節能方案。二次加熱的熱媒最好用熱水,因為熱水在溫、濕調節時比較穩定可靠。
>> 當潔凈廠房的溫、濕度精度要求極高和非常嚴格時,為了確保其參數有時在風管上還要
設置微調的電加熱器。
③ 加濕器是空調機組中的加濕設備,在冬季時為了保證潔凈廠房內必要的相對濕度,必須對空調送風進行必要的加濕。
加濕器一般有兩種,一種是以水為加濕源的等焓加濕。如濕膜、淋水、超聲波、高壓噴霧等加濕器。這種加濕方法簡單、價格便宜,加濕量也大,但其加濕的精度較差。一般相對濕度要求在 >10%的情況下用得較多。水加濕的方法不應用在生物潔凈室。因為,水加濕會給微生物提供良好生存繁殖條件。
另一種加濕方法是以蒸汽為加濕源的等溫加濕。如蒸汽加濕器、干蒸汽加濕器、電極式(電熱式)蒸汽加濕器等。這種加濕方法必須有蒸汽源,如果沒有蒸汽必須用電來產生蒸汽。此種加濕方法價格較高,但加濕精度很高,當相對濕度要求≤±5%時應采用等溫加濕方法。它廣泛應用在電子工業的潔凈廠房和生物潔凈室的加濕中。
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